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高纯气体充装的抽空操作

       一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,关闭抽空管道截止阀后,停止真空泵
       二、缓慢开启抽空总阀,不要让泵油外溢
       三、真空表指示值<-0.1MPa
       四、抽空5~15分钟后
       五、关闭抽空总阀
       六、开启通气阀,不要抽空管路过油
       七、关闭真空泵,抽空结束
2019/03/30 15:35:26 229 次

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